XPS性能特点你了解多少?XPS基本基本概念和原理XPS是基于光电效应来进行表面分析的。如图1所示，用能量为hν的特征X射线照射待测样品表面，光子将其全部能量转移给原子或分子中的束缚电子;由于X射线能量较高，主要是原子内层轨道上的电子被电离......